半导体专用测温表面分散炉热电偶分为:多晶铸锭炉热偶、分散炉专用热电偶、铸锭炉热电偶、profileTC、PaddleTC、SpikeTC多点式分散炉热电偶等,各种产品形状纷歧,大小与结构也尽不相同。做为高精度分散炉热电偶来说,为各大光伏工业带来了许多协助。该产品为了生产加工PECVD的阻隔导电性,表面的绝缘选用透明高纯度石英管或高纯度99%刚玉管制作而成,选用多个点位***丈量,也有用户选用多点丈量法核算出炉内的平均值然后获得应有的数据。
温度丈量在0~1800℃中使用,丈量点分为单点和多点,点可达8个点的丈量,精度契合国际标准,工业等级I级,1500度差错2℃不到,精度相当高,彻底替代进口产品。分散炉热电偶用于光伏工业、半导体的开发与研发、科研范畴、军工单位、进口设备(如:Centrotherm分散炉设备、ALD真空感应炉、GTSolar的DSS炉等)、烧结炉、退火炉、真空炉、氧化炉、分散炉等,可溶化多晶硅、生长多晶硅锭、单晶硅、非晶硅、无定形硅和玻璃等工艺测温。